Púdar miotail sileacain cóimhiotal ardleibhéil

A Púdar miotail sileacainBaineann gléas samplála le réimse na teicneolaíochta próiseála ábhair sileacain, lena n -áirítear sorcóir sleamhnáin seachtrach, le gléas samplála feistithe ar bhalla istigh an tsorcóra sleamhnáin sheachtraigh. Socraítear ceann amháin de bhalla istigh na feiste samplála le diosca seasta, agus rothlaíonn ceann íochtarach an diosca seasta colún rothlach. Tá an dá thaobh de bhalla istigh na feiste samplála socraithe le plátaí teorann, agus sleamhnaíonn bosca bailiúcháin ar bhalla istigh na feiste samplála, i dteagmháil le taobh amháin den phláta teorann. Réitíonn an tsamhail fóntais an fhadhb a bhaineann leis an bhfeiste samplála atá ann cheana a bheith deacair chun an púdar sileacain a bhailiú tar éis samplála, trí shocrú an bhosca bailiúcháin, an colún teorann lárnach, an diosca seasta, an colún rothlach, na plátaí teorann, agus an tslat isteach. Tríd an sorcóir sleamhnáin seachtrach a choinneáil agus an gléas samplála a fhritháireamh, titeann an púdar sileacain atá ceangailte le balla istigh na feiste samplála isteach sa bhosca bailiúcháin. Déantar an bosca bailiúcháin a rothlú ionas go mbeidh an t -urscaoileadh trí pholl suite faoin mbloc seasta, agus tríd an mbosca bailiúcháin a chlaochlú, is féidir an púdar sileacain taobh istigh den fheiste samplála a bhailiú. Is é an buntáiste ná go seachnaíonn sé an deacracht a bhaineann leis an ngá atá le rothlú arís agus arís eile i naisc thraidisiúnta snáithithe boscaí bailiúcháin.

1.Modh chun sféarúil a ullmhúPúdar miotail sileacainAg baint úsáide as gunna lasair plasma, a bhaineann le réimse an táirgthe sileacain thionsclaíoch, tá: Ar an gcéad dul síos, ag nascadh an chéad fhoinse gáis agus an t -amhábhar púdar sileacain mhiotalach le hiontógáil an ghunna lasair plasma trí phíopa gáis; Ansin, ag soláthar cumhachta do anóid agus do chatóid an ghunna lasair plasma; Mar fhocal scoir, nuair a scaoileann an gunna lasair plasma plasma, ag bailiú an phúdar sileacain mhiotalach sféarúil a spraeáiltear ón bhfógra asraon gáis. Sa aireagán seo, gintear stua idir an nozzle (anóid) den ghunna lasair plasma agus an leictreoid (catóid), ag casadh an aeir nó an gháis támh láithreach sa chéad seomra isteach i stát plasma, ar féidir leis an bpúdar sileacain sileacain miotalach a leá go tapa i bpúdar sileacain miotalach silicon; Ag an am seo, méadaíonn an brú aeir taobh istigh den chéad seomra, ag tiomáint an phlasma chun é a dhíbirt ón gcéad seomra i bhfoirm bhíoma plasma tríd an bhfuinneog, le teocht chomh hard le thart ar 9000 céim, atá in ann an t -ábhar púdar sileacain sileacain miotalach a leá go tapa.

Clibeanna Te: Púdar miotail sileacain cóimhiotal ardleibhéil, déantúsóirí púdair miotail sileacain sileacain ardleibhéil na Síne, soláthróirí, monarcha